交付案例

英铂携MPI助广州XX半导体fab厂搭建全自动低频噪声参数系统返回列表

装机产品:MPI TS3500-SE全自动探针台、概伦电子9813DXC 低频噪声测试系统

MPI TS3500-SE全自动探针台

产品介绍:

MPI的TS3500-SE是全自动300mm探针台测试系统,搭配独特的EMI屏蔽腔体,可做高低温测试。

产品优势:

1、模块量测- DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV/RF/HP/1/f Noise

2、专为1/f噪声系统提供屏蔽模块,兼容是德科技4727系列和概伦电子的9813D系列仪表,以达到更短线缆和更小噪声系数

3、温度范围-60°C至300°C可选

4、较强的灵活性,兼容探针座和探卡夹具测试

5、具备业内EMI光电磁屏蔽腔体结构,灵活应对测试应用

6、具有特定设计的电缆接口,与功能测试仪较短的电缆距离,可实现更好的测量方向性

7、卡盘到工作台面的高度,可实现不错的内部节点探测

8、系统具备独特晶圆cassette装载盒,可选配25片cassette或5片不同尺寸wafer自动装载

9、通过在内部集成热系统的冷却器,将系统占地面积降至较低

10、具备FOUP Cassette 自动开门结构,支持FOUP装载晶圆300mm,或升级200mm

产品应用:

专门为产品工程,故障分析,设计验证,晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。

概伦电子9813DXC 先进低频噪声测试系统

产品介绍:

9813DXC作为单一完整的低频噪声测试系统,适用于多种半导体器件类型在各种工作条件下(如200V高压、10pA极低电流等)的高精度、带宽噪声测试,支持晶圆级噪声测试精度和测试带宽,最低测试噪声电流精度低至10-27A2/Hz,可同时覆盖30到30MO高阻抗器件和低阻抗器件测试。

产品优势:

应用范围:

• 支持 MOSFET, SOI, FinFET, TFT, HV/LDMOS, BJT/HBT, JFET,Diode, Resistor, Packaged IC等器件类型

• 针对任意待测类型均可实现晶圆级高精度和宽带宽测试

• 宽电压、宽电流、宽阻抗测量范围

功能:1/f噪声测试与特性分析、RTN测试与特性分析

系统架构:硬件架构全新升级,提升系统集成性·配置触摸屏,直观显示,易于操作

产品应用:

• 先进半导体制造工艺如FinFET/FD-SOI/GaN等研发过程中的质量和工艺评估:

• 芯片制造过程中的特定工艺品质监控

• 半导体器件和电路的低频噪声特性测试、噪声数据分析

• 半导体器件 SPICE模型库开发

• 高端集成电路设计和验证

更多案例