英铂携MPI助力香港科技大学搭建毫米波晶圆级射频测试系统返回列表

TS200-THZ

产品介绍：

TS200-THZ均为应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。

产品优势：

1、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

2、高度调整比例

探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节，支持各种应用，独特的1mm精确刻度可准确指示当前位置。

3、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求。 

4、多种光学系统选择

提供多种光学器件，可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

5、机型可满足与DC-220G毫米波级测试需求

6、防震屏蔽系统

暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。防震可屏蔽外界震动。

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS200-IFE

产品介绍：

TS200-IFE为应用于手动8英寸晶圆级、器件类等电学特性，具备可以快速拖动样品台，更换样品功能，并且有着独特Platen平台设计和屏蔽腔体，测试重复性提高95%。

产品优势：

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

2、高度调整比例

2.1 针座平台具备3档抬升调节，行程范围：0-300um-3mm，并搭配精准细调行程。

2.2 探针座台面具有25毫米的精细高度调节，支持各种应用，独特的1mm精确刻度可准确指示当前位置。50um-100um-150um，并支持锁定。

3、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项，可提供-60-300度温度可先选，以满足不同的预算和应用需求。 

4、多种光学系统选择

提供多种光学显微镜选择，从单筒到金相，已满足不同倍数要求。

5、机型可满足与DC-220G毫米波级测试需求

并适配多品牌扩频模块的搭载，拥有较短与样品接触距离。

6、防震屏蔽系统

暗箱为超低噪声直流测量提供光电屏蔽和不透光的测试环境。防震可屏蔽外界震动。

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。