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英铂助力歌尔股份搭建失效分析利器-激光镭射探针台返回列表

装机产品:YB800-A激光镭射探针台

PD激光器系统

产品介绍:

• 该激光器具备激光打标和激光切割功能

• 波长范围可支持:1064nm、532nm、355nm或266nm

• 脉冲激光激发频率:单次射击,1Hz连续,或5Hz 100次射击激发功率0.8mj,

• 支持切割mark尺寸:X: 0 to 2.5mm  、Y:  0  to 2.5mm

• 具备可见光标记功能,且内置CCD影像观察系统,无需额外配比CCD影像

• 冷却方式:风冷

YB800-A手动探针台

产品概要:

YB800-A是200mm手动探针台系统,可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势:

1、单机多应用设计

• 适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用,如射频和 DC、IV/CV 、高功率等测试晶圆级可靠性、电学特性曲线

2、具备工效学设计

• XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计

• 坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

• 三段式工作台快升把手设计,接触(contact) -架针( sepration)- 分离(loading),实现高可靠性、高效率性

• 具有电子安全锁定装置,保护样品及探针无意外损坏

• 具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台,搭配微调千分尺

3、弹性选配与升级性

• 另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载,以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

• Platen 底部特征聚合物高压防护设计

• Chuck 独特安全隔离防护设计

• 采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆(标准 SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高压仪表

• 红外感测 interlock 安全互锁机制

产品应用:

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试,可升级最高频可达110G测试,满足于8寸及以下产品应用。具备多模块应用升级,如高温,防震屏蔽,光学等。

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