英铂携MPI助陕西XX公司搭建多功能变温静态功率电学测试系统返回列表

产品概要：

MPI的TS200-HP手动探针台测试系统可提供8英寸及以下晶圆器件的高功率测量，先进的ShielDEnvironment™可提供低噪声和屏蔽的测试环境。

产品优势：

1、适合至高 10kV / 600A (脉冲)的晶圆级高功率组件量测，

2、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

3、高度调整比例

· 针座平台具备3档抬升调节，行程范围：0-300um-3mm，并搭配精准细调行程

· 探针座台面具有25毫米的精细高度调节，支持各种应用，独特的1mm精确刻度可准确指示当前位置。50um-100um-150um，并支持锁定。

4、多种卡盘选项

晶圆载物台表面镀金，接触电阻面积小;真空吸孔优化，适合装载至薄 50 µm 的薄晶圆，可提供-60-300度温度可选，以满足不同的预算和应用需求。 

5、多种光学系统选择

提供多种光学显微镜选择，从单筒到金相，已满足不同倍数要求。

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，

专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境，具备fA级测量环境，适配interlock安全防护可与测试机进行联动防护安全

7、具备接触LED点针锁止功能

8、提供抗电弧解决方案

9、机型可兼容升级与DC-220G毫米波级测试需求

并适配多品牌扩频模块的搭载，拥有最短与样品接触距离

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。