英铂携Annealsys助北京大学搭建半导体器件级退火炉系统返回列表

产品介绍：

Annealsys AS-Master是一款多用途的200mm RTP设备，温度范围在室温至1450℃，大气压到10-6 Torr，可手动或自动基片装载。

产品优势：

·可处理到200mm基片的独立设备

·带有闭合环路空气冷却的多区红外灯卤素打火炉

·不锈钢冷壁腔室技术

·快速数字PID温度控制器

·热电偶和高温计控制

·常压和真空工艺能力

·带针阀的吹扫气路

·最多可配带MFC的工艺气路8条

·配有以太网通讯的PC控制，用于快速数据记录

·可选配分子泵和压力控制

·手动或盒到盒装载

产品应用：

可应用于注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、碳化硅、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)、旋涂掺杂物扩散、致密化和结晶、硒化等。