英铂助力中兴微电子搭建8寸双面晶圆级失效分析测试系统返回列表

产品介绍：

YB-EMMI-200-DSP是200mm手动双面探针失效分析系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(3000V 30A)测量。

产品优势：

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和DC、IV/CV测试晶圆级及器件的失效分析测试

2、工效学设计

•XY轴微调设计/Y轴快速导入导出/载物台设计

•坚固且可乘载正面多达10支DC和最大6支背面DC微定位器的工作台

•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台，搭配微调千分尺

• 且提供背面影像光学系统，提供双面扎针操作

• 针座平台具备＞15mm的微调操作

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求，以完全支援您的应用需求

4、高压升级人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国PEEK双层高压防护环套设计的针杆（标准SHV Coaxial接口）通用

•keithley&keysight高压仪表

•可升级红外感测interlock安全互锁机

产品应用：

该系统主要应用于晶圆级或器件高压电学特性失效分析的测试，可升级最压可达3KV测试，满足于8寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如防震屏蔽，光学等。