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英铂携手Hanwa助力湘潭大学搭建晶圆级TLP&VF-TLP测试系统返回列表

装机产品:YB800-A探针台、Hanwa HED-T5000-HC 测试仪、Hanwa HED-T5000-VF 测试仪

Hanwa HED-T5000-HC测试仪

产品介绍:

Hanwa HED-T5000用于半导体元器件静电保护电路抗静电能力的测试,通过该测试可以清楚的了解到元器件的抗静电能力的特性参数,器件开发人员通过这些参数可以了解到元器件ESD设计窗口,从而对元器件保护电路作进一步改进。

该设备也可通过给GATE端加DC电源,测试功率器件的SOA特性曲线。

产品优势:

1.性能稳定,国内大厂的选择

2.搭配多个上升沿,满足不同需求

3.支持SOA测试,可同时施加多个偏置电压

4.测试软件简明直接,易操作易上手

5.硬件操作便捷,探头易切换易点针

产品应用:

1.ESD模型等效分析

2.SOA测试

3.瞬态波形分析

Hanwa HED-T5000-VF测试仪

产品介绍:

超快TLP(VF-TLP)测试仪用于测量集成电路中静电放电(ESD)保护器件的特性。VF-TLP在CDM模拟等效中应用较多,其中Hnawa的0.2ns上升沿可以为用户提供超快的上升时间,即时了解到器件的响应速度,搭配多个脉宽实现不同应用,对于先进半导体来说至关重要。

产品优势:

1、强大的监控功能支持

该测试仪具备全面且高效的监控能力,可实时追踪测试过程中的关键参数(如电压、电流、脉冲波形、测试进度等),确保测试流程稳定可控。

2、特性数据差值显示

能够对测试获取的器件特性数据(例如不同批次芯片的 ESD 耐受电压、不同测试环境下的电流 - 电压参数等)进行对比计算,并直观显示数据间的差值。

3、可连接晶圆 ESD 测试仪

具备与晶圆级静电放电(ESD)测试仪的兼容连接能力,可实现设备间的数据交互与协同工作。

产品应用:

适用于CDM等效,器件响应速度测试,先进半导体应用。

YB800-A探针台

产品介绍:

YB800-A是200mm手动探针台系统,可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势:

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用,如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact) - 分离(loading),实现高可靠性、高效率性

•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台,搭配微调千分尺

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级,亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载,以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆(标准 SHV Coaxial 接口)通用keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制

产品应用:

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试,可升级最高频可达110G测试,满足于8寸及以下产品应用。具备多模块应用升级,如高温,防震屏蔽,光学等。

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