英铂探针台助力上海大学搭建真空低温高频电学测试系统返回列表

YB800-A手动探针台

产品介绍：

YB800-A是200mm手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势：

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 轴微调设计/Y 轴快速导入导出/载物台设计

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact） - 分离（loading)，实现高可靠性、高效率性

•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台，搭配微调千分尺

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制

产品应用：

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于8寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等。

低温探针台

产品介绍：

低温探针台可对器件进行非破坏性的测试，器件的尺寸可达到2in(最大可定制4in)。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，可满足不同用户的需要。

产品优势：

● 测量DC到67GHz

● 控温稳定性：80-100K时，控温精度±50mK；100-500K时，控温精度±0.1K

● 最多可使用6个探针臂

● 测试样品尺寸2in(最大可定制4in）

● 探针臂传上可安装温度感器进行温度监测

● 探针臂3轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转

● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要

● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失

● 系统使用液氮制冷，基本系统温度范围：80K -500k 

产品应用：

低温探针台可为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。

E4990A阻抗分析仪

产品介绍：

E4990A 阻抗分析仪具有 20 Hz 至 120 MHz 的频率范围，可在宽阻抗范围内提供出色的 0.045%（典型值）基本准确度，并内置 40 V 直流偏置源，适用于元器件、半导体和材料测量。

产品优势：

● 5种可升级的频率选件：20 Hz 至10/20/30/50/120 MHz

● 基本阻抗测量准确度：±0.08%（±0.045%，典型值）

● 25 mΩ 至 40 MΩ 宽阻抗测量范围（10% 测量准确度范围）

● 测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、复数 Z、复数 Y、Vac、Iac、Vdc、Idc

● 内置直流偏置源：0V 至 ±40V，0A 至 ±100 mA

● 加快测量速度选件（选件 001，仅适用于 10M/20M/30M/50M 选件）

● 10.4 英寸彩色 LCD 触摸屏可显示 4 个通道和 4 条迹线

● 数据分析功能：等效电路分析、极限线测试

产品应用：

E4990A阻抗分析仪广泛应用于电子测试、电池技术、新材料研究、半导体制造等领域。在半导体制造中，E4990A可用于MLCC、电感、磁珠、滤波器等元器件的阻抗特性分析，支持直流偏置叠加，适用于高Q值元件的测量‌。

E5071C ENA矢量网络分析仪

产品介绍：

E5071C ENA 矢量网络分析仪，9 kHz 至 20 GHz，配有增强型 TDR 测量选件。

产品优势：

高吞吐量、高良率

E5071C 是大规模无源元器件测试的理想解决方案。 它具有出色的测量性能，有助于提高测试吞吐量，尤其是与 E5092A 多端口测试仪配合使用时，可以大幅提高生产能力。 灵活的多端口设置可以显著缩短测试时间。

E5071C 网络分析仪软件

网络分析仪软件工具支持您在各种测量应用中调查、表征自己的设计以及诊断设计问题。 借助 E5071C 上的频偏模式和时域分析等应用软件，可以让复杂的测量变得轻松异常。

产品应用：

该产品主要应用于射频和微波测试、器件表征、天线测试、电缆和连接器等测试。