英铂探针台助力XXX深研院升级6寸高温低频测试系统返回列表

产品介绍：

YB600-A是150mm手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

产品优势：

1、多应用升级

• 适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、6寸气冷卡盘升级，具备工效学设计

• 满足室温-200℃/300℃选配，降温采用CDA降温及控温

• 温度分辨率：0.1℃

• 温度稳定度：±0.5℃

• 升温速率：室温 to 200℃<25min

• 降温速率：200℃ to 室温＜45min（视CDA流量决定）

• 最大支持尺寸：C /2″/4″/6″，具备独立吸附控制，最小4*4mm器件吸附

• 具备表面密孔升级选项，可兼容多机型适配

产品应用：

该系统主要应用于晶圆级高频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于6寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等。