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英铂助中国科学院化学所搭建8寸晶圆载片参数矩阵测试系统返回列表

装机产品:TS2000-SE半自动探针台 & 是德科技B1500A分析仪

MPI TS2000-SE半自动探针台

产品介绍:

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统,其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台发布新功能,侧面带有VCE,可完美解放您的双手,实现精准定位,完成自动扎针,使测试过程更加方便快捷。

产品优势:

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载,并且易于针对自动程序进行预对准,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆,针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment,可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触,使用DC或RF等探针卡非常安全

产品应用:

1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测

4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境,专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

7、支持飞安级低漏电值量测

8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

是德科技B1500A分析仪

产品介绍:

B1500A 半导体器件分析仪将多种测量和分析功能整合到一台仪器中,可精确快速地进行器件表征。它能够提供广泛的器件表征功能以及出色测量可靠性和可重复性的多功能参数分析仪。可以执行从基本的电流 - 电压(IV)和电容 - 电压(CV)表征到快速、精准的脉冲 IV 测试的全方位测量。

产品优势:

- 低电压和小电流的精确表征

- 无需重新连接电缆即可在 CV 和IV测量之间进行切换

- 保持出色的小电流测量分辨率(使用 SCUU 时最小为1fA,使用 ASU 时最小为 0.1 fA)为被测器件提供完整的 CV补偿输出

- 捕获传统测试仪器无法精确测量的超快速瞬态现象

- 缩短从学习仪器使用、进行测量到熟练操作仪器所需的时间

- 交互式地开发测试,并即时查看器件特征

- 无需使用任何其他设备便可对电流和电压脉冲进行验证(MCSMU提供示波器视图)

- 自动分析测量数据,无需使用外部 PC

- 自动存储测量数据和测试条件,日后快速调用此信息

产品应用:

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