英铂携手kosaka助力清华大学搭建形貌台阶仪测量系统返回列表

产品介绍：

KOSAKA ET200A是KOSAKA新推出的经济型台式两用机型：6寸台阶仪（支持升级到8寸载物台）和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合，是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。

产品优势：

1、设备主体花岗岩，低热膨胀，低重心，自隔震，配有独特的直动式传感器设计。

2、Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm。

3、Z方向线性度为±0.25% （样品厚度＞ 2000A）；5A （样品厚度≤2000A）。

4、样品台的垂直直线度保证：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm。

5、高精度的X方向位移光栅尺控制，X方向最大测量长度100mm。

6、配备了各种型号的探针，提供通过过程控制接触力和垂直范围的探头。

7、彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

8、使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式，可更好的实现高精度表面形貌分析应用。

9、可精确地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。

10、支持可升级三维测量功能。

产品应用：

KOSAKA ET200A可为不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。