英铂助XX大学搭建MEMS微器件变温射频与光学振动表征平台返回列表

外置射频探针冷热台

产品介绍：

外置调节探针冷热台是一款针对材料研究过程中变温电学测试而设计的产品，可表征材料升温和降温阶段，其电学性能随温度变化的特征，可通过外部探针臂，进行高精度的 XYZ 方向位移。

产品参数：

• 温度范围：-190~400℃（真空）/600℃（气密）

• 温度稳定性：±0.1℃

• 支持0-40GHZ射频测试

• 支持反射模式

• 按需配置二/四/八探针/微型探针

• 真空腔室，可通保护气体

• 上位机软件控制

• 可配套温度、电学测试软件

• 支持改动或定制

产品应用：

采用液氮致冷、电阻加热的方式，实现-190~600℃（气密）/-190~400℃（真空）范围内精准控制，可与电学仪表（如源表、万用表等）搭配集成，进行变温原位测试。

MSA-600-X/U 显微式激光测振仪

产品介绍：

MSA-600-X/U扫描式显微式激光测振仪是集面外振动、面内振动、及表面形貌测量功能于一体的光学测量工作站，最高测试频率高达2.5GHz。

产品参数：

• 集多功能于一体的光学测量工作站

• 真正的实时测量，无需数据后处理

• 精度较高的亚pm位移分辨率

• 测量速度快，振型可视化显示

• 操作界面直观友好

• 全自动化测量，易于集成至商用探针台上

产品应用：

MSA-600-X/U用户操作界面直观、友好，是用于MEMS 研发及质量控制的强大的光学测量解决方案，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声学器件，如SAW, BAW等。