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英铂探针台助力上海微系统所搭建晶圆级低温电学测试系统返回列表

2025-07-03 16:44:58 英铂科学仪器（上海）有限公司

装机产品：YB800-A手动探针台、CPS-50极低温闭循环探针台

CPS-50产品应用：

产品优势：

• 基本系统温度范围：8K(1.5W冷头）10K(1.2W冷头）到350K，系统冷却时间<2小时

• 探针臂分别在防辐射屏和样品台上热沉，探针臂上安装温度感器进行温度监测

• 样品更换循环时间4小时

• 测量DC到67GHz

• 最大测试样品尺寸51mm（2in)直径

• 探针臂可进行3轴调整和平面内士5度的调整

CPS-50是一个低成本不需要低温制冷剂的探针台，器件的最大尺寸可达到51mm(2inch)，低温磁场探针台器件最大尺寸30mm。系统的探针、测线缆、样品架都有多种类型可供选择，可满足不同用户的需要。

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