英铂助复旦大学-SiC研究中心搭建8寸功率静态参数测试系统返回列表

TS2000-HP

产品介绍：

MPI的TS2000-HP半自动化探针台测试系统可提供8英寸及以下晶圆器件的高功率测量，先进的ShielDEnvironment™可提供低噪声和屏蔽的测试环境。

技术优势：

1、适合至高 10kV / 600A (脉冲)的晶圆级高功率组件量测

2、提供载片下的高功率动、静态参数的测试

3、晶圆载物台表面镀金，接触电阻面积小;真空吸孔优化，适合装载至薄 50 µm 的薄晶圆

4、可选配搭载 Taiko 晶圆载物台

5、提供抗电弧解决方案

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

7、专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

8、支援飞安级低漏电值量测

9、温度量测范围 -60 °C to 300 °C

Keithley PCT参数波形记录仪

产品介绍：

Keithley参数波形记录仪（代替原晶体管图示仪）支持所有的设备类型和测试参数。Keithley参数波形记录提供高功率同步电流电压曲线测试（IV曲线测试）、电容电压曲线测试（CV曲线测试）和高功率脉冲IV曲线测量。

技术优势：

1、完善的解决方案，价格实惠且性能优异

2、可现场升级和重新配置，将 PCT 转换成可靠性或晶片分类测试仪

3、可配置功率电平：200V 至 3kV；1A 至 100A

4、宽动态范围：µV 至 3kV；fA 至 100A

5、全量程容-电压 (C-V) 能力：fF 至 µF；支持 2、3 和 4 端器件；高达 3kV DC 偏移

6、高性能测试夹具支持一系列软件包类型

7、探头测试台接口支持常见的探头类型，包括 HV 同轴三线电缆、SHV 同轴电缆、标准同轴三线电缆等