英铂探针台助力合肥芯投微搭建8寸晶圆级电学测试系统返回列表

产品概要：

YB800N-A是200mm手动探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 200A)测量。

产品优势：

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV 测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•具备英铂科学仪器独有专利技术的气浮式移动样品台，搭配XY 轴微调千分尺

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•三段式工作台快升把手设计,接触(contact） - 分离sepration - 架针（loading)，实现高可靠性、高效率性，搭配微调抬杆行程（50-100-150um）

•可选配AUX陶瓷校准载台，有效提高校准精度，独立控制吸附，

•具备电子安全互锁功能，以保证contact后无意外移动气浮载物台

• 显微镜移动基座可选配气动升降或者90度翻转款式，以满足多种倍数要求

3、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求

4、高压人机安全防护设计升级选配

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制，与仪表之间的联动，保证测试安全性

产品应用：

该系统主要应用于晶圆级高低频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于8寸及以下产品应用。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等。