交付案例

英铂携手kosaka助力武汉XX半导体公司搭建形貌台阶仪测量系统返回列表

装机产品:Kosaka ET200A台阶仪

产品介绍:

KOSAKA ET200A是KOSAKA推出的经济型台式两用机型:6寸台阶仪(支持升级到8寸载物台)和粗糙度轮廓仪。可根据用户需求任意组合,是一款带有专用控制器的高精度、高性能的表面粗糙度测量仪器。

产品优势:

● 使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高 精度表面形貌分析应用。

● 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 

● 配备各种型号探针,提供通过过程控制接触力和垂直范围的探头。

● 彩色CCD 原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

● 适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。

● 拥有高精度.高分解能,搭配一体花岗岩结构,安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。

● 该型号台阶仪采用直动式检出器,重现性高。

产品应用:

KOSAKA ET200A可为不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。

更多案例