英铂携手Polytec助力上海大学搭建MEMS激光测振系统返回列表

MSA-600 激光测振仪

产品介绍：

MSA-600-M/V型的测量带宽高达25MHz，适用于MEMS、MEMS麦克风和其它微系统的振动测试。

全新研发的MSA-600-X/U型的测量带宽更是高达2.5GHz，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等振动测试。

MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。

产品优势：

• 专用于显微结构的一体化光学测量工作站

• 真正的实时测量（无需数据后处理）

• MSA-600-M/V 型测试频率高达25 MHz

• MSA-600-X/U 型测试频率高达2.5 GHz

• 新的 MSA-600-S 型测试频率高达6 GHz

• 亚pm级的位移分辨率

• 快速测量，振型可视化

• 操作简便、直观

• 自动化测试系统，易于集成至探针台

• 用于FE模型验证的导入/导出功能（选配）

产品应用：

主要应用于生物学和医学、微纳米技术，可以非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。

英铂减震桌

产品介绍：

防震桌作为器件测试中不可缺少的一部分，可以有效隔绝测试过程中发生的震动，使测试结果更加精确。

产品优势：

• 有效隔绝震动 ＜2.5Hz频率

• 搭配薄膜空气气囊隔振功效

• 内置高精度机械阀，自动平衡充气

• 内置防静电电源拖线板

• 具备多元化模块升级，如暗箱、仪表托架、内外置显示器支架等

• 可搭配不同需要防震设备，最大承重350kg（较大重量或特殊尺寸要求可支持定制）

产品应用：

主要应用于半导体器件测试等领域。