英铂携手Raith助力XXX搭建半导体晶圆级电子束图形化设备返回列表

产品介绍：

PIONEERSEM 是一款集成高分辨电子束光刻和扫描电子束成像双功能的纳米图形制作系统，系统主要由真空系统、电子光学系统、样品室和样品台、用于成像和光刻扫描的偏转系统及图形发生器、计算机控制系统及系统控制软件等组成。

产品优势：

1.专业的电子束曝光软件包基于Windows操作系统用于图形设计编辑、参数设定、系统控制、结果成像度量等

2.多用户管理，每个用户使用独立的文件和参数,操作方便，设计人性化

3.无缝集成GDSII编辑器，可分层设计复杂图形

4.数据输入格式为GDSII, DXF, ASCII, CIF等

5.电子束扫描方式多种多样，可根据曝光图形任意设定：

·矢量扫描模式，线性扫描或蛇形扫描

·任意形状的单像素线/点进行曝光

·圆形扫描模式，通过轴对称快速填充保证圆形类结构的光滑，并降低数据量以提高数据处理速度

·纵向、横向，或按照任意角度的方向扫描

·位图光栅扫描等

产品应用：

具有多种电子束扫描方式，可制备均匀的纳米级图形，同时配备轴向和非轴向两个二次电子探测器，可实现高分辨的成像及精密测量功能。