英铂携MPI助苏州普源精电搭建8寸手动&半自动高低温测试系统返回列表

TS200手动探针台

产品介绍：

TS200探针台应用于半导体晶圆级、器件类电学特性，具备单手可快速拖动样品台，快速位移到所需位置，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性显著提高95%。

产品优势：

1、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，单手控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

2、高度调整

针座平台具备25毫米的精细高度调节，以支持各种应用。独特的1mm刻度可精确的显示当前位置。

3、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求。卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck，以支持高达300°C的温度测量。

4、紧凑坚固的 Platen 平台

紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达10个DC或四个RF MicroPositioner，满足各种应用需求。

5、多种光学系统选择

提供多种光学器件，如单筒金相显微镜SZ10或MZ12之间进行选择。

6、振动隔离平台

手动系统包括减震基座，以实现稳定可靠的探针与待测器件的长期接触，从而确保可靠稳定的测量结果。

7、屏蔽系统

暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。

TS2000-SE半自动探针台

产品介绍：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

产品概要：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全

产品应用：

1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测

4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

7、支持飞安级低漏电值量测

8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C