英铂携手MPI探针台助力中兴微电子搭建半导体电学测试系统返回列表

MPI TS3000半自动探针台

产品介绍：

MPI的TS3000是半自动300mm探针台测试系统，搭配独特的可开放式下做高低温测试，专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。

产品优势：

1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

2、温度范围-60°C至300°C

3、较强的灵活性

4、具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的最小电缆距离，可实现更好的测量方向性

5、较小的卡盘到工作台面高度可实现不错的内部节点探测

6、通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至较低

产品应用：

专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。

MPI TS3000-SE半自动探针台

产品介绍：

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，满足设备的需求表征，晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。

产品优势：

1、适用于多种晶圆量测应用

2、模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性测试 - 精确的压力测试

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

6、专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到 1/f 超低噪测试结果

7、支援 fA 级超低噪 IV 量测

8、可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

9、具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用。