英铂携手RKD助力苏州龙驰半导体搭建器件失效分析开封系统返回列表

产品介绍：

RKD的Elite Etch Cu是一台可为铜线开封的化学开封机，可实现更高的产能。这台开封机可以将精密分配微等分的硝酸、硫酸或混酸到样品器件上，开封直径为0.8mil铜线的塑封料。

产品优势：

1、大大提高封装材料的去除效率

每一次微等分的酸被输送到刻蚀腔内，由于泵产生的的压力将会创造出非常大的湍流，特殊设计的酸热交换器能够在最高达8ml每分钟的流量内精的确将酸温度控制在10℃到250℃范围内。

2、刻蚀头具有很强的耐酸性

Elite Etch Cu配置了一个酸控制器刻蚀头，由优质碳化硅材料制造而成，并亲可降低在开封工艺结束时残留在刻蚀头上残留酸的烟化现象。

3、操作简单，安全便捷

在瓶子容器和开封器之间的所有流体接口都采用双重密封；瓶子容器采用了旋转互联并配置流体传感器。

4、节省N2气消耗

采用自动高低压气体转换系统和安全盖内部安全气压补充；光纤感应传感器可检测开封时刻蚀罩盖上后的密合度。

产品应用：

主要适用于各种类型的铜线开封。