英铂携MPI助北京智芯微搭建12寸高低温晶圆级可靠性测试系统返回列表

TS3000-SE半自动探针台

产品介绍：

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI ShielDEnvironment™，可实现超低噪声，满足设备的需求表征。

产品优势：

1、适用于多种晶圆量测应用

2、模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS

3、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

4、可靠性测试 - 精确的压力测试

5、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境

6、专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境，以得到 1/f 超低噪测试结果

7、支援 fA 级超低噪 IV 量测

8、可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作

9、具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，晶圆级可靠性测试以及RF和mmW等多种应用。

B1500A分析仪

产品介绍：

B1500A 半导体器件分析仪是一台可精确快速地进行器件表征以及测量可靠性和可重复性的多功能参数分析仪。可实现从基本的电流 - 电压（IV）和电容 - 电压（CV）表征到快速、精准的脉冲 IV 测试的全方位测量。

产品优势：

- 低电压和小电流的精确表征

- 无需重新连接电缆即可在 CV 和IV测量之间进行切换

- 保持出色的小电流测量分辨率(使用 SCUU 时最小为1fA，使用 ASU 时最小为 0.1 fA)为被测器件提供完整的 CV补偿输出

- 捕获传统测试仪器无法精确测量的超快速瞬态现象

- 缩短从学习仪器使用、进行测量到熟练操作仪器所需的时间

- 交互式地开发测试，并即时查看器件特征

- 无需使用任何其他设备便可对电流和电压脉冲进行验证(MCSMU提供示波器视图)

- 自动分析测量数据，无需使用外部 PC

- 自动存储测量数据和测试条件，日后快速调用此信息

产品应用：