英铂&MPI助复旦大学研究院搭建12寸全自动晶圆级测试系统返回列表

产品介绍：

MPI的TS3500-SE是全自动300mm探针台测试系统，搭配独特的EMI屏蔽腔体，可做高低温测试，专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。

产品优势：

1、模块量测-DC-IV/DC-CV/Pulsed-IV/RF/HP/1/f Noise

2、温度范围-60°C至300°C可选

3、较强的灵活性，兼容探针座和探卡夹具测试

4、具备业内EMI光电磁屏蔽腔体结构，灵活应对测试应用

5、具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的较小电缆距离，可实现更好的测量方向性

6、较小的卡盘到工作台面高度可实现不错的内部节点探测

7、系统具备独特晶圆cassette装载盒，可选配25片cassette或5片不同尺寸wafer自动装载

8、通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至较低

9、或支持升级装载端口300毫米与自动开门器

10、支持晶圆尺寸300毫米FOUP卡带，200毫米与插入

产品应用：

专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。