英铂助天府兴隆湖实验室搭建8寸晶圆级高低温电学测试系统返回列表
MPI TS2000-IFE全自动探针台
产品介绍：
MPI的TS2000-IFE是全自动200mm探针台测试系统，可在开放式的环境下做高低温测试，专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。
产品优势：
1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
2、温度范围-60°C至300°C
3、较强的灵活性
4、具有特定设计的电缆接口，大大缩小与功能测试仪之间的电缆距离，实现更好的测量方向性
5、具备可升级全自动探针台的基础，可装载5片不同支持或者25片的晶圆的装载
6、较小的卡盘到工作台面高度可实现不错的内部节点探测
7、通过在内部集成热系统的冷却器，将系统占地面积降至较低
产品应用：
专门为产品工程，故障分析，设计验证，晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计。
Keithely 4200A-SCS参数分析仪
产品介绍：
4200A-SCS是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压(I-V)、电容电压(C-V)和超快速脉冲式I-V特性。作为性能很高的参数分析仪，4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。
产品优势：
1、随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件，缩短测试开发时间
2、内置测量视频的仪器，测试视频由全球应用工程师提供，分为4种语言，缩短学习周期
3、pin to pad接触检查，确保测量可靠
4、多种测量功能
5、数据显示、分析和代数运算功能
6、专家视频，降低特性分析复杂度
7、大量随时可以使用的应用测试可供选择，通过Clarius库中装备的450多项应用测试，只需三步，Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。
8、实时结果和参数，自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能，加快获得所需信息的速度。不必担心数据丢失，因为所有历史数据都会保存下来。
9、无需示波器检验脉冲测量，脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数，。使用瞬态I-V或波形捕获模式，进行基于时间的电流或电压测量，而无需使用外部示波器。
产品参数：
●I-V源测量单元(SMU)
●± 210 V/100 mA或± 210 V/1 A模块
●100 fA测量分辨率
●选配前端放大器提供了10 aA测量分辨率
●10 mHz - 10 Hz超低频率电容测量
●四象限操作
●2线或4线连接
C-V多频率电容单元(CVU)
●AC阻抗测量(C-V, C-f, C-t)
●1 kHz - 10 MHz频率范围
●± 30 V (60 V差分)内置DC偏置源，可以扩展到± 210 V(420 V差分)
脉冲式I-V超快速脉冲测量单元(PMU)
●两个独立的或同步的高速脉冲I-V源和测量通道
●200 MSa/s，5 ns采样率
●±40 V (80 V p-p)，±800 mA
●瞬态波形捕获模式
●任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns可编程分辨率
产品应用：
MOSFET, BJT 晶体管；材料特性分析；非易失性存储设备；电阻率系数和霍尔效应测量；NBTI/PBTI；III-V 族器件；失效分析；纳米器件；二极管和 pn 联结；太阳能电池；传感器；MEMS器件；电化学；LED和OLED。
