英铂携手MPI助力复旦大学搭建6寸手动超高功率测试系统返回列表

产品概要：

MPI TS150-HP/6英寸手动探针台，应用于测试半导体晶圆级、器件类的超高压大电流的电学特性，具备快速拖动样品台，更换样品的功能，并且有着独特Platen平台设计，测试重复性提高95%。

产品优势：

1、气浮式样品移动系统

MPI独特的气垫载物台设计，具有简单的单手冰球控制，为操作人员提供了很强的便利性，可实现快速XY导航和快速晶圆装载，同时又不影响精确的定位功能。

2、高度调整比例

探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节，支持各种应用，独特的1mm精确刻度可准确指示当前位置。

3、标配三段式工作台快升把手设计

接触(contact） - 分离（sepration） - 架针（loading)，实现高可靠性、高效率性，搭配微调抬杆行程（50-100-150um），搭配电子互锁结构，提高测试安全性

4、多种卡盘选项

手动系统可提供多种卡盘选项，以满足不同的预算和应用需求，可选配AUX陶瓷校准载台，有效提高校准精度，独立控制吸附

5、机型可满足与DC-220G毫米波级测试需求兼容升级

6、多种光学系统选择

提供多种光学器件，可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

7、防震屏蔽系统

防震可屏蔽外界震动，暗箱为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。

产品应用：

适用于多种晶圆量测应用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)。