英铂携MPI探针台助广州理工学院搭建半自动晶圆载片系统返回列表

MPI TS2000-SE 半自动探针台

产品概要：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

特色功能：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

产品优势：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI 8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全

产品应用：

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测

• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支持飞安级低漏电值量测

• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

FS-Pro 半导体参数分析仪

产品概要：

FS-Pro半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备。

产品优势：

• 在一个系统中实现了电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、高速波形发生与釆集以及低频噪声测试能力，几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。

• 全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程，并可与概伦9812系列噪声测试系统无缝集成。

• 釆用工业通用的PXI模块化硬件架构，系统配置灵活，扩展性强。

• 内置专业测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能。

• LabExpress软件同时支持自动化量测和并行量测，可进一步提升测试效率。

• 广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域。

产品应用：

该产品可应用于工艺制程研发与器件参数测试、光电器件和微电子机械系统测试、半导体器件可靠性测试器件测试、半导体器件超短脉冲测试、二维材料器件测试、金属材料测试、非易失性存储器测试、新型先进材料与器件测试。