英铂携手MPI助力上海安其威搭建12寸晶圆级可靠性测试系统返回列表

产品概要：

TS3000-IFE是TS3000探针台系统的升级开发，该系统配备了MPI IceFreeEnvironment™，可实现开放式下高低温循环环境，满足设备的需求表征。

产品优势：

• 适用于多种晶圆量测应用，最大支持12英寸，可向下兼容8/6/4/或碎片DUT

• 模块量测  DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, RTS/SiPH

• 升级射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 支援 fA 级超低噪 IV 量测

• MPI IceFreeEnvironment™开放式环境，可支持低温下探针或探卡的兼容，

• 系统具备弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

• 具备标准通讯协议，

• 提供一站式解决服务方案，可客制化全自动控制软件

产品应用：

可用于多种晶圆量测应用，晶圆级可靠性测试、硅光耦合以及RF和mmW等多种应用。