英铂助成都矽力杰搭建12寸手动高温高压低漏电参数测试系统返回列表

产品信息：

YB1200-DP是300mm手动高压探针台系统，可以提供准确可靠的DC/CV, RF/高功率(10000V 30A)测量。

技术优势：

1、单机多应用设计

•适用于多种晶圆/集成电路/功率器件/光学材料量测应用，如射频和 DC、IV/CV ，HP等测试晶圆级可靠性

2、具备工效学设计

•XY 采用气浮式快速移动，搭配全行程微调旋钮，满足＞300mm位移行程，且带有锁死装置

•坚固且可乘载多达 10 支 DC 或 4 支 RF 微定位器的工作台

•两段式工作台快升把手设计,接触(contact） - 分离（loading)，实现高可靠性、高效率性

3、系统具有室温到高温，温度可选，满足最高300℃兼容

4、可选垂直器件或者水平器件选配测试，适配市场上多数品牌仪表

5、显微镜基座具备XY微调移动，Z轴可气动升降

6、弹性选配与升级性

•另有多种晶圆载物台可做升级，亦有諸多配件如 DC/RF/mmW 微定位器、光学显微镜、电磁屏蔽箱/防震系统可搭载，以完全支援您的应用需求

7、高压人机安全防护设计

•Platen 底部特征聚合物高压防护设计

•Chuck 独特安全隔离防护设计

•采用德国 PEEK 双层高压防护环套设计的针杆（标准 SHV Coaxial 接口）通用keithley&keysight 高压仪表

•红外感测 interlock 安全互锁机制，与测试仪表进行互通

主要应用：

该系统主要应用于晶圆级高低频电学特性的测试，可升级最高频可达110G测试，满足于12寸、8寸、6寸、4寸、2寸及碎片等产品应用测试。具备多模块应用升级，如高温，防震屏蔽，光学等。