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英铂助力XXX公司搭建高低温低漏电载物台承载系统返回列表

2025-11-04 15:10:13 英铂科学仪器（上海）有限公司

装机产品：高低温载物台系统

产品介绍：

高低温载物台系统提供晶圆级承载，具备可变温环境，可满足测试如射频、高压、直流等晶圆的承载作用，可与多种机型搭配。

产品优势：

• 具备气冷式降温凹槽式设计，具备12英寸、8英寸或定制6英寸可选尺寸，具备最小吸附样品尺寸4*4mm

• 表面材质可选，如镀金或者镀镍，适用于不同测试应用，可选密孔

• 真空吸附可独立控制范围，

• 选配陶瓷射频载物台

• 可选配背电极，漏电＜1pA

• 高功率最大可满足 10KV/200A 的选配

• 满足-60℃-300℃最大温区

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