英铂携手MPI助力XXX所搭建真空自动测试激光测振系统返回列表
MSA-600 激光测振仪
产品介绍：
MSA-600-M/V型的测量带宽高达25MHz，适用于MEMS、MEMS麦克风和其它微系统的振动测试。
全新研发的MSA-600-X/U型的测量带宽更是高达2.5GHz，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等振动测试。
MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。
产品优势：
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专用于显微结构的一体化光学测量工作站
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真正的实时测量（无需数据后处理）
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MSA-600-M/V 型测试频率高达25 MHz
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MSA-600-X/U 型测试频率高达2.5 GHz
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新的 MSA-600-S 型测试频率高达6 GHz
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亚pm级的位移分辨率
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快速测量，振型可视化
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操作简便、直观
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自动化测试系统，易于集成至探针台
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用于FE模型验证的导入/导出功能（选配）
产品应用：
主要应用于生物学和医学、微纳米技术，可以非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。
MPI M1半自动探针台
产品介绍：
MPI的M1/ 8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，具备较高性价比，可满足客户多种测试需求。
产品优势：
1、具备高性能微屏蔽暗箱
可为低噪声，低电容测量提供出色的不透光的屏蔽测试环境
2、ERS独特的 AC3冷却技术
MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫platen，可大幅减少30%至50%的空气消耗
3、具备可满足于实现自动化测试通讯协议接口
4、配备一体式减震气囊
5、支持飞安级低漏电值量测
6、支持温度范围 20 °C 至 300 °C
7、系统支持多显微镜升级及移动切换等功能
产品应用：
1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 67 GHz 及以上
3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测 / inker 打墨
4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试
5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A
YB-LPS-200-P600低温探针台
产品介绍：
YB-LPS-200-P600可对器件进行非破坏性的测试，器件的尺寸可达到2in(最大可定制4in)。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，可满足不同用户的需要。
产品优势：
● 测量DC到67GHz
● 控温稳定性：80-100K时，控温精度±50mK；100-500K时，控温精度±0.1K
● 最多可使用6个探针臂
● 测试样品尺寸2in(最大可定制4in）
● 探针臂传上可安装温度感器进行温度监测
● 探针臂3轴方向可调节，并可进行面内±5°旋转
● 可提供不同的选件和附件来满足特定的科研测试需要
● 电缆、屏蔽和Guard保护进一步减少了电噪声和热辐射损失
● 系统使用液氮制冷，基本系统温度范围：80K -500k
产品应用：
YB-LPS-200-P600为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、 high Z 测量、DC 测量、RF 测量和微波特性测量提供一个测试平台。
