英铂携MPI与R&S助力株洲XXX科技搭建半自动晶圆载片测试系统返回列表

TS2000-SE 半自动探针台

产品介绍：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能和超高屏蔽下的超低噪声环境。

特色功能：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台发布新功能，侧面带有VCE，可完美解放您的双手，实现精准定位，完成自动扎针，使测试过程更加方便快捷。

基本信息：

1、ShielDEnvironment

MPI ShielDEnvironment是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境

2、自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆，针对高低温环境下可提高测试效率

3、ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment，可大幅减少30%至50%的空气消耗

4、侧视影像系统(VCE)

借助MPI 8寸探针台独特的自动侧视– VCE影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全

产品优势：

• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

• 失效分析 - 探针卡 / 节间探测

• 可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

• 高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

• MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

• 支持飞安级低漏电值量测

• 支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

R&S矢量网络分析仪

产品概要：

ZVA系列产品是优秀的矢量网络分析仪，需要对高性能、多功能型有源或无源组件和模块进行要求极高的测量时，该系列产品是理想的选择。

产品优势：

• 带 4 个内部信号源，频率高达 67 GHz，可以快速地对放大器和混频器进行测量

• 具有 4 个相位相干信号发生器功能（频率可高达 67 GHz）

• 中频带宽可高达 30 MHz，可以实现放大器和混频器的脉冲测量功能

• 可以对带或不带本振接入的混频器的变频损耗进行相位和群延时测量

• 可以对放大器和混频器进行谐波、压缩、互调和 Hot S22测量

• 实现了无噪声源噪声系数定义的新方法

• 实现了脉内扫频测量、脉冲平均扫频测量和脉冲包络测量

• 2 个内部脉冲发生器

• 通过 R&S®ZVAX24，实现了内部脉冲调制器和组合器

• 嵌入/去嵌入功能通过虚拟网络实现阻抗匹配

• 支持真差分测量，可以表现出平衡设备的非线性效应

• 多功能校准技术：TOSM、TRL/LRL、TOM、TRM、TNA、UOSM 和 AutoCal

产品应用：

用于射频/微波/毫米波器件与系统 S 参数、阻抗、损耗、群时延等射频特性表征；覆盖无源器件（滤波器、线缆、连接器）、有源器件（放大器、混频器、收发组件）、晶圆在片测试。