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纳米探针台纳米探测面临的挑战· 定位精度· 安全(软)着陆接触· 具有适当尖端半径的可靠探针头· 清洁环境：试验箱、样品、探针头·
纳米探针台
纳米探测面临的挑战
· 定位精度
· 安全(软)着陆接触
· 具有适当尖端半径的可靠探针头
· 清洁环境：试验箱、样品、探针头
· 振动敏感性低
· 噪声抑制
· 漂移补偿
· 电路编辑/延迟：在FIB角度操作
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