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纳米探针台

纳米探测面临的挑战
· 定位精度
· 安全(软)着陆接触
· 具有适当尖端半径的可靠探针头
· 清洁环境:试验箱、样品、探针头
· 振动敏感性低
· 噪声抑制
· 漂移补偿
· 电路编辑/延迟:在FIB角度操作

特点与优势

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  • 优势

    电流成像

    ·   快速图像采集(每帧约5秒)

    ·   不需要更容易控制的反馈

    ·   原位应用,扫描电镜可以用来确定投资回报率

    ·   与标准钨探针头配合使用

    ·   picoamp分辨率,识别泄漏

    ·   污染物清除

     

  • 恰当的高级探测工具

     

     

    ·    适应您对工作流程的快速理解

     

    ·    相关的光镜和电子显微镜,EBIC/EBAC,电流成像-获得整个图像

     

    ·     快速发现故障(开路、短路、连接泄漏、晶体管故障等)