TS2000-SE Probe System

产品概要：

MPI的TS2000-SE/8寸半自动探针台是具有创新功能的200mm自动化晶圆测试系统，其包含独特的侧面自动装卸功能。

基本信息：

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微屏蔽暗箱，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种测试组合。

自动化晶圆装载系统

该功能提供了非常方便的晶圆装载，并且易于针对自动程序进行预对准，可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圆。

安全管理(STM)系统

独特的STM系统可防止在测试过程中打开正门，以保证测试过程的安全，任何情况下都无法打开任何系统门。独特的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚，系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足，则STM™会自动将卡盘转换为安全模式，迅速将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过保持安全的测试环境，使TS2000-SE的测量更加安全，可靠和方便。

高效率的装卸

自动化的单晶圆装载机和安全测试管理提供了独特的功能，可以在卡盘任意温度下更换晶圆，不再需要冷却或加热到环境温度。这样可以节省大量的等待时间，并显着提高MPI测试系统的整体效率，可支持100mm-200mm不同尺寸晶圆。

侧视影像系统(VCE™)

借助MPI8寸探针台独特的自动侧视– VCE™影像系统可视化的观察探针针尖与样品之间的接触，使用DC或RF等探针卡非常安全。

ERS独特的 AC3冷却技术

MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS的AC3冷却技术和自我管理系统，可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™，可大幅减少30%至50%的空气消耗。

MPI THZ选项

它将TS2000-SE系统转换为专用的mmW和THz探针台，是自动化探针台测试系统：MPI THZ Selection融合了MPI为TS200-THZ开发的频率扩展器集成创新设计，可将扩展器悬停在整个200 mm晶圆上;这将与DUT的距离减至较小，以提供较佳的测量方向性和准确性。

温控系统

温度控制可以通过集成的触摸屏显示器来操作，该显示器位于操作员前方的便利位置，以实现快速的操作和即时的反馈。TS2000-SE内置集成了高性能的振动隔离平台，可在任何实验室测试环境中更好地运行。总占地面积较小。可选的仪器架可缩短电缆长度并增加测量动态性和方向性。

控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，以提供更快，更安全，更便捷的系统控制和测试操作。隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

技术优势：

1、模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV

2、射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上

3、失效分析 - 探针卡 / 节间探测

4、可靠性测试 - 热/ 冷 / 长时间测试

5、高功率测试 - 至高 10 kV / 600 A

6、MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境，专为 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境

7、支持飞安级低漏电值量测

8、支持温度范围 -60 °C 至 300 °C

应用方向：

适用于多种晶圆量测应用。

 

TS2000-SE Probe System

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