TS2000 Probe Systems

产品概要：

MPI TS2000的专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容，主要设计用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。

基本信息：

超大面积工作台

TS2000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面，以适应多达12套直流或4套射频的微定位器，集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器，使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。

快速的晶圆装载

宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆，及微小器件的快速更换，两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面，可以很方便地进行装卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板完全集成到探针系统中，并基于数十年的经验和客户互动而设计，隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

温控系统

便捷式的触摸屏来操作热卡盘(从20°C或环境温度到最高300°C)，实时显示卡盘温度，该触摸屏位于操作员前方的便利位置，以实现快速的操作和即时的反馈。

探针卡和微型定位器

多达12套DC或4套DC和4套射频微型定位器，及4.5英寸的标准探针卡夹具，使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。

整合式DarkBox

TS2000-D是集成了DarkBox的TS2000。该系统专为各种屏蔽光电磁等敏感器件而设计，嵌入式的互锁，LED照明和标准化接口面板而设计，是受光和激光安全保护的测试环境的首选。

仪器集成

可选的仪器架可缩短电缆长度，并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

软件套件SENTIO®

MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件，简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”，“缩放”，“移动”命令模仿了现代智能移动设备，使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。集成式的RF应用系统，无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria®与SENTIO®完全集成在一起，遵循单一操作概念方法，易于使用。

技术优势：

1、模块量测 ：DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV

2、射频量测 ：至高 110 GHz

3、高功率量产测试 ： 至高 10 kV / 600 A

4、开放式温区：25°C至 300 °C

5、内置被动式防震系统

6、可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具

应用方向：

适用于多种量产型晶圆量测应用。

 

 

TS2000 Probe Systems

隔振系统

TS2000结合了两种类型的隔振解决方案，总占地面积较小，可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。

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