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TS2500 Series Probe System
产品概要：
MPI TS2500系列并非配备装载机的工程探针台，该系列专为精准可靠的全天候生产测试而设计。 TS2500-SE 整合了 ShielDEnvironment™ 技术，提供防光和电磁屏蔽性能，确保超低直流与射频噪声测量的精准性。
基本信息：
高承载量
自动化系统配备专用末端执行器，结合适用于100/150/200毫米晶圆的双晶圆盒托架，实现高效晶圆交换与加速测试进程。TS2500系列可达10个芯片/秒（取决于最终系统配置），是离散射频和高功率器件以及集成电路（IC）生产电气测试的理想选择。
先进的对准技术
先进的对准功能，如标准离轴和可选的卡盘安装式上视摄像头，使TS2500成为复杂射频和高功率测量配置中测试的理想平台。MPI Photonics自动化部门数十年的经验确保了这些功能的可靠性。 晶圆ID读取器亦可选配。
高压、大电流及超高功率探针
MPI高功率探针解决方案包含专用大电流探针，采用MPI专有多点接触探针尖端以降低接触电阻。MPI高压探针可在高达3kV三轴或5kV/10kV同轴测试环境下进行低漏电流测量，并支持高达600A电流。 MPI高功率探针卡可承受高达10kV的悬空电弧，并在150°C环境下提供独特的测试能力。
薄晶圆处理
TS2500 RF卡盘独特的设计可以安全地处理厚度为50微米的晶圆，从而能够测试具有挑战性的III-Vs化合物薄片。射频卡盘包括两个完全由特殊陶瓷材料制成的辅助卡盘，用于精确的射频校准。辅助卡盘也可以用来固定探针清洁材料。
MPI环境与热夹头
屡获殊荣的MPI与ERS热夹头采用AC3冷却技术及自主管理系统，通过循环冷却空气净化MPI ShielDEnvironment™环境，与市面其他系统相比，空气消耗量大幅降低至50%。
MPI屏蔽环境
这是一款高性能屏蔽系统，为超低噪声、低电容测量提供业电磁干扰屏蔽与光密闭测试环境，并作为TS2500-SE探针系统的标准配置。作为MPI ShielDEnvironment™的配置组件，它支持最多4通道射频接口或最多8通道直流/开尔文接口，亦可组合配置上述接口类型。
MPI SENTIO®
通过简洁性与直观操作的新颖方法，MPI开发出多点触控探针台控制软件套件，以应对当今操作复杂探针测试系统所面临的挑战。 MPI的目标是大幅缩短培训时间，并尽可能简化操作员的工作流程——即便操作全自动TS2500系列探针台亦能轻松驾驭。
完整的测试解决方案
TS2500可以配置MPI的高性能RF探针 /高功率附件，例如MicroPositioners，RF线缆，校准片，TITAN™RF 探针，大功率仪器连接套件，Taiko晶圆支架或防电弧LiquidTray™，以确保安全和准确射频/大功率测量。随着VNA与DUT的集成更紧密，与Rohde&Schwarz合作新的先进校准技术，使TS2500-RF成为了解决RF生产测试复杂性的完整测量解决方案。
技术优势：
1、射频量测 - 至高 67 GHz
2、可同时进行 DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV 量测
3、标准配备有偏心轴晶圆对准镜头
4、可支持配至薄50um薄晶圆选项
5、可支持温度区间：20℃到300℃
应用方向：
主要应用于直流/恒压、射频、大功率测试，或在规定测试环境下对MEMS及其他传感器的检测。
