南大客户发表重要成果，英铂助力半导体，微纳米科研发展返回列表

上图产品为英铂-极低温探针台

《Nature》相关报道聚焦原子级制造变革工业生产！南京大学原子制造研究所团队利用原子团簇离子束技术，在双原子催化、新型合金、单分子驻极体存储、量子器件方向取得突破性进展。英铂科学仪器为该前沿科研平台提供核心实验设备支撑，助力科研人员精准操控原子，探索亚纳米制造全新赛道。从纳米迈向原子尺度，我们持续为国内顶尖科研机构提供高端精密仪器解决方案。

掌控原子世界将如何变革工业生产

中国科学家正在开展亚纳米尺度制造研究，为研发性能空前的全新器件打开大门。

原子制造研究所最受瞩目的核心技术为原子团簇离子束技术。原子团簇离子束在探针台（见图）的真空腔体内发生碰撞，生成可作为构筑基元的分子。图片来源：南京大学原子制造研究所。

无论是速度超快的量子计算机，还是性能特异的新型合金，未来先进器件与材料的制备，都要求人类能够以极高精度操控单个原子与分子。南京大学原子制造研究所（IAM）正在大力推进这项被称作 ** 原子级制造（ALM）** 的技术研究。

该研究所所长、物理学家宋凤麒表示：“对比传统纳米制造，原子级制造的加工尺度要小得多。” 该研究所成立于 2022 年，是国内首家同类型研究机构。

宋凤麒介绍，当前最先进的极紫外光刻（EUV）工艺所制备的最小晶体管，一般采用波长约 14 纳米的光源；而原子级制造技术可用来组装单颗硅原子，硅原子本身尺寸仅约 0.2 纳米。

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