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TS3000-SE Probe System

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发,该系统配备了MPI ShielDEnvironment™,可实现超低噪声,极其准确和高度可靠的DC / CV,1 / f,RTS和RF测量,主要满足设备的需求表征,晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。 独特的气冷设计可在-60°至300°C的宽温度范围内提供最大的稳定性,并使TS3000-SE探针系统成为在不同温度条件下测试设备的理想选择。

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统,可为超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

     

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或高功率等组合。

    MPI ShielDCap™便于屏蔽,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

     

     

     

  • 探针悬停控制

    MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制,以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过最大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误,确保了最安全的操作。

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 简单的晶圆装载

    双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300mm晶圆,晶圆碎片甚至小至5×5mm集成电路的装卸程序变得轻松。

    AUX卡盘都位于前面,可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。

     

     

     

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件,并且还可以控制基于仪器的Windows® 。

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 热卡盘集成

    由于集成了智能冷却器,TS3000系列提供了优化的占地面积,可节省实验室中的宝贵空间。

    MPI和ERS共同设计了新型300 mm热 卡盘AirCool®PRIME 技术系列,具有无与伦比的热灵活性,可将浸泡时间减少60%,并且是市场上种类最多的热学产品。

    减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

    可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统,该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置,以实现快速操作和即时反馈。

     

     

     

  • ERS专利AC3冷却技术公司

    这些卡盘采用ERS专利AC3冷却技术及其空气管理系统,可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 安全测试管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开门,以保证测量结果很安全。在负吸盘温度期间,任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外,智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境,使TS3000的测量更加安全,可靠和方便。

     

     

     

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

     

     

     

     

     

     

  • 软件套件SENTIO®

    MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件,简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。