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TS3000-SE Probe System

TS3000-SE是TS3000探针台系统的升级开发,该系统配备了MPI ShielDEnvironment™,可实现超低噪声,满足设备的需求表征,晶圆级可靠性以及RF和mmW等多种应用。
优势:
适用于多种晶圆量测应用
• 模块量测 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f,RTS
• 射频和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
• 可靠性测试 - 精确的压力测试
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 专为 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所设计的精密量境,以得到最佳的 1/f 超低噪测试结果
• 支援 fA 级超低噪 IV 量测
• 可编程的显微镜滑台实现自动化之简便操作
• 具配置弹性的温度可量测范围 -60 °C 至 300 °C

特点与优势

  • ShielDEnvironment™

    MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的微暗室屏蔽系统,可为超低噪声、低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

     

     

     

     

     

     

  • ShielDCap™

    MPI ShielDEnvironment™允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin或高功率等多种测试组合。

     

     

     

     

  • 探针悬停控制

    MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制,以实现探针到晶圆的精确定位。

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 快捷的晶圆装载

    双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300mm晶圆,及微小器件的快速更换

    两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面,可以很方便地进行装卸。

     

     

     

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

     

     

     

     

     

     

     

  • 温控系统

    MPI和ERS共同设计了新型300 mm热卡盘AirCool®PRIME 系列,具有无与伦比的热灵活性,可将变温时间减少60%,

    减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

    便捷式的触摸屏实时显示卡盘温度,触摸屏位于操作员前方的便利位置,以实现快速的操作和即时的反馈

     

     

  • ERS独特的AC3冷却技术

    MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 安全测试管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开正门,以保证测试过程的安全,任何情况下都无法打开任何系统门。独特的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚,系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,迅速将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过保持安全的测试环境,使TS3000-SE的测量更加安全,可靠和方便

     

     

     

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

     

     

     

     

     

     

  • 软件套件SENTIO®

    MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件,简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。