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TS3000 Probe System

MPI的TS3000是自动300毫米探针系统,专门为产品工程,故障分析,设计验证,晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计,并提供: · 最高温度范围-60至300°C
· 最大的灵活性
· 具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的最小电缆距离,可实现更好的测量方向性
· 最小的压板到卡盘高度可实现最佳mmW和内部节点探测
· 通过在内部集成热系统的冷却器,将系统占地面积降至最低
所有这些功能的结合使TS3000探针台成为MPI公司和产品工程市场所独有的。

特点与优势

  • IceFreeEnvironment™

    结合了MPI的IceFreeEnvironment™,TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和(或)探针卡测试,并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。

     

     

     

     

     

  • 探针悬停控制

    MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制,以实现探针到晶圆/焊盘的定位。易用性通过最大程度减少关键设置和测头更换操作中的错误,确保了最安全的操作。

     

     

     

     

     

     

     

  • 大探针压板

    TS3000提供了易于使用的大型探头压板,以便以最小的压板到卡盘高度容纳多达12倍的DC或4倍的RF微定位器。

    集成了负载拉力调谐器或更大面积的微型定位器,使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。

    探针压板被主动冷却以避免热漂移,尤其是在300°C时。

     

     

     

     

  • 简单的晶圆装载

    双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300mm晶圆,晶圆碎片甚至小至5×5mm集成电路的装卸程序变得轻松。

    AUX卡盘都位于前面,可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁

     

     

     

     

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更便捷的系统控制和测试操作。关键位置处的键盘和鼠标可以在必要时控制软件,并且还可以控制基于仪器的Windows®

     

     

     

     

     

     

     

  • 热卡盘集成

    由于集成了智能冷却器,TS3000系列提供了优化的占地面积,可节省实验室中的宝贵空间。

    MPI和ERS共同设计了新型300 mm热 卡盘AirCool®PRIME 技术系列,具有无与伦比的热灵活性,可将浸泡时间减少60%,并且是市场上种类最多的热学产品。

    减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

    可以使用完全集成的触摸屏显示器来操作热力系统,该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置,以实现快速操作和即时反馈。

     

     

     

  • ERS专利AC3冷却技术公司

    这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

  • 探针卡和微型定位器

    许多单探针、用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡夹以及较低的板到卡盘距离,非常适合与主动探针同时进行探测,使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。

     

     

     

     

     

     

  • 安全测试管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开门,以保证测量结果很安全。在负吸盘温度期间,任何情况下都无法意外打开任何系统门。此外,智能的露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境,使TS3000的测量更加安全,可靠和方便。

     

     

     

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。