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TS3000 Probe System

MPI的TS3000是半自动300mm探针台测试系统,搭配独特的可开放式下做高低温测试,专门为产品工程,故障分析,设计验证,晶圆级可靠性以及RF和mmW应用而设计,
并提供:
• 模块量测 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 最高温度范围-60°C至300°C
• 最大的灵活性
• 具有特定设计的电缆接口的与功能测试仪的最小电缆距离,可实现更好的测量方向性
• 最小的卡盘到工作台面高度可实现最佳mmW和内部节点探测
• 通过在内部集成热系统的冷却器,将系统占地面积降至最低

特点与优势

  • IceFreeEnvironment™

    结合了MPI的IceFreeEnvironment™,TS3000可以在-60至300°C的宽温度范围内对300mm的晶片进行微型定位器和(或)探针卡测试,并具有在胶片框架上进行探测的附加功能。

     

     

     

     

  • 探针悬停控制

    MPI探针悬停控制PHC™允许轻松手动控制探针与晶片的接触和分离。分离距离可以通过测微计反馈精确控制,以实现探针到晶圆的精确定位。

     

     

     

     

     

     

     

  • 超大面积工作台

    TS3000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面,以适应多达12套直流或4套射频的微定位器。

    集成了负载拉力调谐器或更大面积的微型定位器,使得TS3000系统成为RF和mmW测量的理想选择。

     

     

     

     

  • 快捷的晶圆装载

    双前门通道和独特的卡盘设计使150、200、300mm晶圆,及微小器件的快速更换

    两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面,可以很方便地进行装卸。

     

     

     

     

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

     

     

     

     

     

     

     

  • 温控系统

    MPI和ERS共同设计了新型300 mm热卡盘AirCool®PRIME 系列,具有无与伦比的热灵活性,可将变温时间减少60%,

    减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME热卡盘系统的附加价值。

    便捷式的触摸屏实时显示卡盘温度,触摸屏位于操作员前方的便利位置,以实现快速的操作和即时的反馈

     

     

     

  • ERS独特的AC3冷却技术

    MPI旗下全系列探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

     

     

  • 探针卡和微型定位器

    多达12套DC或4套DC和4套射频微型定位器,及4.5英寸的标准探针卡夹具,使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。

     

     

     

     

     

     

  • 安全测试管理(STM)系统

    独特的STM系统可防止在测试过程中打开门,以保证测量结果很安全。在负吸盘温度期间,任何情况下都无法意外打开任何系统门。独特的智能露点控制程序可避免冷测试期间的积聚。系统自动监视CDA或氮气的流量。如果流量中断或流量不足,则STM™会自动将卡盘转换为安全模式,尽快将卡盘加热至露点以上。MPI STM™的功能是通过自动保持安全的测试环境,使TS3000的测量更加安全,可靠和方便。

     

     

     

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。