产品中心

TS2000 Probe Systems

MPI TS2000是全球范围内公认的探针系统的自然演变,其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要设计用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。 TS2000可用于环境和(或)仅高温操作模式,速度极快,最高可达10Dies/second(取决于最终配置),这使其成为离散RF设备上生产前电气测试的理想选择。

特点与优势

  • 大探针台板

    TS2000系列提供了易于使用的大型探针台板,以适应多达12倍直流或4倍射频的微定位器。

    集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器,使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。

     

     

     

  • 简单的晶圆装载

    宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆,晶圆碎片,甚至小至5×5mm的集成电路。

    AUX卡盘都位于前面,可以很方便地进行装卸。没有推出阶段允许采用简单的自动化方法来进行RF校准和探针卡清洁。

     

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,以提供更快,更安全,更便捷的系统控制和测试操作。键盘和鼠标的位置非常重要,可以在必要时控制软件,并且还可以控制基于仪器的Windows®。晶圆和辅助夹具的真空控制面板位于右前侧,以便在装卸过程中轻松检修。

     

     

     

     

  • 热卡盘集成

    可使用完全集成的触摸屏显示器来操作热吸盘(从20°C或环境温度到最高300°C),该触摸屏显示器放置在操作员面前的便利位置,以实现快速操作和即时反馈。

     

     

     

     

  • 探针卡和微型定位器——同时

    许多单探针、用于4.5英寸x 11英寸探针卡的薄型探针卡夹以及较低的板到卡盘距离,非常适合与主动探针同时进行探测,使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。

     

     

     

  • 整合式DarkBox

    TS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000!

    该系统专为各种测量仪器的最佳占位面积,嵌入式互锁,LED照明和标准化接口面板而设计,是受光和激光安全保护的测试环境的首选。

    易于从背面板上进行访问,从而使重新配置或初始设置变得非常快捷和方便。

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

     

     

     

     

  • 软件套件SENTIO®

    MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件,简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。

    对于RF应用系统,无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria®与SENTIO®完全集成在一起,遵循单一操作概念方法,易于使用。

     

     

     

  • 隔振

    TS2000结合了两种类型的隔振解决方案,可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。