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TS2000 Probe Systems

MPI TS2000是全球范围内公认的探针系统的自然演变,其专用设计可满足高级半导体测试市场的需求。该系统与所有MPI系统附件完全兼容,主要设计用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及对MEMS、高功率、RF和mmW器件测试的特殊要求。
优势:
适用于多种量产型晶圆量测应用
• 模块量测 :DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
• 射频量测 :至高 110 GHz
• 高功率量产测试 : 至高 10 kV / 600 A
• 开放式温区:25°C至 300 °C
• 内置被动式防震系统
• 可乘载达 12x DC 或 4x DC + 4x RF 微定位器、或 4.5” 标准探针卡夹具

特点与优势

  • 超大面积工作台

    TS2000系列提供了易于使用的大型探针座放置台面,以适应多达12套直流或4套射频的微定位器。

    集成了负载拉力调谐器或更大面积的微定位器,使得TS2000系统成为射频和毫米波测量的理想选择。

     

     

     

  • 快速的晶圆装载

    宽大的前门通道可轻松装载/卸载100、150、200mm的晶圆,及微小器件的快速更换

    两只陶瓷专用射频校准AUX卡盘位于前面,可以很方便地进行装卸。

     

     

  • 集成硬件控制面板

    智能硬件控制面板完全集成到探针系统中,并基于数十年的经验和客户互动而设计,隐藏式的键盘、鼠标增加整体美观。

     

     

     

  • 温控系统

    便捷式的触摸屏来操作热卡盘(从20°C或环境温度到最高300°C),实时显示卡盘温度,触摸屏位于操作员前方的便利位置,以实现快速的操作和即时的反馈。

     

     

     

     

  • 探针卡和微型定位器

    多达12套DC或4套DC和4套射频微型定位器,及4.5英寸的标准探针卡夹具,使该系统成为设计验证和(或)故障分析工作的理想选择。

     

     

     

  • 整合式DarkBox

    TS2000-D就是已经集成了DarkBox的TS2000!

    该系统专为各种屏蔽光电磁等敏感器件而设计,嵌入式的互锁,LED照明和标准化接口面板而设计,是受光和激光安全保护的测试环境的首选。

     

     

  • 仪器集成

    可选的仪器架可缩短电缆长度,并提高 RF和mmW 应用中的测量动态性和方向性。

     

     

     

     

  • 软件套件SENTIO®

    MPI自动工程探针系统由独特且革命性的多点触摸操作控制SENTIO®软件套件,简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。

    集成式的RF应用系统,无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria®与SENTIO®完全集成在一起,遵循单一操作概念方法,易于使用。

     

     

     

  • 隔振系统

    TS2000结合了两种类型的隔振解决方案,可以在不同的实验室测试环境中更好地运行。总占地面积可比或小于行业中常用的独立振动台。