产品中心

TS2000-DP Probe System

TS2000-DP是MPI提供一套多功能且经济高效的8寸半自动高功率测试探针台,可在20°C至300°C的温度范围内进行晶圆载片上高功率应用的测量,且测量能力高达3kV(三轴)/10kV(同轴)和600A(脉冲)。

特点与优势

  • 探针卡和微型定位器

    TS2000-DP可提供最高12倍的高压(最高3kV三轴或10kV同轴)或4倍的多手指高电流(最高400A的微型定位器)。

    其具有的大量单探头,专用于防电弧高功率探针卡的的探针卡夹,使得该系统成为高功率设备特性测量的理想选择。

     

     

     

     

     
  • 防电弧技术

    该系统配备了ArcShield™,可防止卡盘和探针压板之间发生任何可能的电弧。

    防电弧探针卡具有在DUT周围施加高压的能力,并且可以使用帕申定律来防止焊盘之间产生电弧。

    特别设计的防电弧LiquidTray™只需将其放在高功率卡盘表面即可用于抑制电弧。晶圆可以安全地放置在托盘内,以浸没在液体中进行无电弧高压测试。

    此卡盘可在300°C最高可达10kV(同轴)。

     

     

     

  • 仪器集成

    TS2000-DP可以配置多种仪器连接套件,其中包括必要的高压/大电流探头和电缆附件,以便与测试仪器进行最佳连接,例如Keysight B15005(3kV或10kV),包括集成的模块选择器或Keithley 2600-PCT-XB,以及集成的8020高功率接口面板。

     

     

     

  • 软件套件SENTIO®

    MPI自动工程探针系统由独特的、革命性的多点触摸操作控制SENTIO® 软件套件——简单直观的操作节省了大量的培训时间。“滚动”,“缩放”,“移动”命令模仿了现代智能移动设备,使每个人都可以在短短几分钟内成为专家。在活动应用程序与其余APP之间的切换仅需简单的手指操作即可。

    对于RF应用,无需切换到另一个软件平台——MPI RF校准软件程序QAlibria® 与SENTIO®完全集成,为了遵循单一操作概念方法而易于使用。