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TS150&TS200&TS300

TS150&TS200&TS300应用于测试半导体晶圆级、器件类电学特性,具备可以快速拖动样品台,更换样品功能,并且有着独特Platen平台设计,测试重复性提高95%。
MPI 全系列探针台具备模块化设计,可搭配不同变倍比显微镜,同时与德国ERS联合开发设计具有气冷温控技术的Thermal Chuck同步使用。
优点 :
• 适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模,晶圆级可靠性 (WLR)、失效分析 (FA)、集成电路工程、微型机电系统 (MEMS) 和高功率 (HP)

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    TS150&TS200&TS300细节优势

    Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

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    Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

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    Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

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    Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

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    Platen Lift技术-三段平面式升降及下针: MPI采用了三段式(0-300um-3mm)下针并且内置安全锁,不仅实现了1um重复性,同时也使得整个下针过程变得十分平缓且平稳从而避免了撞针。这大大提升了用户的体验,方便了用户的操作

  • Lock Position
  • Unlock Position
  • Separation Position
  • Contact Position with 50um Hover Hight
  • Contact Position

特点与优势

  • 气浮式样品移动系统

     

    MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手冰球控制,为操作人员提供了无与伦比的便利性,可实现快速XY导航和快速晶圆装载,同时又不影响精确的定位功能,并具有精确的25×25 mmXY-θ 千分尺运动。

     

     

  • 高度调整比例

     

    探针台工作台面具有25毫米的精细高度调节,以支持各种应用。独特的1mm精确刻度可提供有关当前位置的直接反馈。

     

     

     

     

     

     

     

     

     

  • 多种卡盘选项

    手动系统可提供多种卡盘选项,以满足不同的预算和应用需求。 卡盘选件包括MPI的同轴、三轴、高功率chuck或各种ERS高低温chuck,以支持高达300°C的温度测量,热触摸控制器的无缝集成可快速便捷地进行操作。

     

     

     

     

     

  • 紧凑而刚性的设计  Platen 平台

    紧凑而坚固的压盘设计可容纳多达十个DC或四个RF MicroPositioner,以满足各种应用需求。高度可重复的压板提升机设计具有三个不连续的位置,用于接触,分离和加载,并带有安全锁实用程序,可实现轻松的步进和重复功能。此外,四端口RF MicroPositioner的矩形调节是保证RF探针之间对准的标准功能。

     

     

     

     

  • 辅助AUX卡盘

    射频卡盘包括两个专用陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准。

     

     

     

     

     

     

  • 多种光学系统选择

    提供多种光学器件,可以在用于普通DC / CV应用的立体声或用于射频配置的单管MPI SZ10或MZ12之间进行选择。

     

     

     

     

     

     

  • 光学倾斜

    这些光学器件经过精心选择,可以满足客户对方便将探针放置到焊盘的要求。90度倾斜是标准功能,甚至是气动驱动,线性Z升降器提供了非常方便的设置和容易更换的探针头。

     

     

     

     

  • 振动隔离平台

    手动系统包括减震基座,以实现稳定可靠的探头与焊盘的长期接触,从而确保可靠的测量结果。在实验室环境需要广泛的振动保护的情况下,振动隔离平台或工作台是可选的。

     

     

     

     

     

  • 屏蔽系统

    可用的暗箱选项为超低噪声直流测量提供EMI屏蔽和不透光的测试环境。

     

     

     

     

     

     

  • MPI TS150工程晶圆探针系统是一种经济高效且高度精确的手动探针系统,旨在精确分析基板和150 mm晶圆。TS150可以配置为支持各种应用,例如器件表征和建模,晶圆级可靠性,故障分析,IC工程,MEMS和高功率等多种应用测试。