产品中心
您的位置: 主页 > 产品中心 > 台阶仪 >

Kosaka 粗糙度轮廓仪

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度测定机是一款KOSAKA新推出的经济型便携式台式两用机型。根据您的需求任意组合,并可对多种零件表面的粗糙度,波纹度以及原始轮廓进行多参数评定,是一款带有专用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度测量仪器,简单操作,显示一目了然。

特点与优势

  • 微细形状测定机(台阶仪)Step Height Measuring System

    ET150K31 组合

    产品特性

    · 设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震

    · 独特的直动式传感器设计

    · Z方向重复性1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

    · Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

    · 样品台的垂直直线度保证:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    · 高精度的X方向位移光栅尺控制,X方向最大测量长度100mm,Y方向最大移动150mm

    · 自带三维测量功能

    ET150K31的结构

  • 花岗岩低重心设计

    极佳重复性与线性度

    采用直动式检测方式

    可避免圆弧补正误差

    可避免Bearing间隙误差

    台阶测定重复性:1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm

    Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

  • 直动式检出器构造

     

    直动式检出器测量边沿效应

     

  • 重复测量数据 (10 times)

    Taylor Hobson 标准样

  • 直动式检出器测量边沿效应

     

     

    线性度

    Vertical linearity(垂直线性度) : ±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)

    线性度计算公式: 误差范围 / Z方向测量范围

    测量设备型号 : ET-150系列

    测试样品为 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 认证的标准样品

    Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

    VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

    VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

     

  • VLSI SHS-9400QC

     

    VLSI SHS-440QC

     

     

  • 高分辨率

    纵轴最高分辨率0.1nm
    横轴最高分辨率0.1um
    X测定速度可调:5μm~2mm/s
    可测量超薄样品、高深宽比样品、多层台阶等

    超高垂直直线度

    垂直直线度:任何直线垂直方向上的偏移量称为垂直直线度

    可追溯性:通过ISO9000国际认证,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,产品出厂皆有出厂测试认证报告

    超高垂直直线度精度保证:  局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

                                                 可测定样品的平面度、波纹度、翘曲度、内应力

                                                 超高垂直直线度的优势

     

  • ET150K31绝佳的设计,达到最佳的测量效果

     

     

    设备主体花岗岩,低热膨胀,低重心,自隔震

    最佳的测量稳定性和设备稳定、耐用性

    直动式检测器

    最佳的测量重复性&线性度,确保各样品台阶测量的精度、准确度

    样品台超高的垂直直线度保证

    进一步提高台阶测量精度,确保样品形状不变形

    样品台X方向光栅尺定位,最长测量距离100mm,最快测量速度5μm/s

    样品周期性结构不失真,长距离有利于测定多种国际参数

     

     

    实时监控测量位置

     

  • 超高直线度国际认证数据

    位移光栅尺与时间取样

  • 形状及粗度解析

    粗度规范对应:可对应各种国际新旧标准规范,测量参数多达60种;可测量台阶及倾斜度。

    超大测定力范围

    测定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意设定可测定软质材料面,如:COLOR FILTER、SPACER、PI等

  • 触针保护盖板及方便更换