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MSA-100-3D显微式激光测振仪
产品概要：
MEMS 和微系统的3D 振动测量，实物振动通常是三维振动。诚然，您可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级。
基本信息：
因为在3D 真实的生活中运动
因激光光斑极小，所以横向分辨率极高，且带宽高达 25 MHz，Polytec的MSA-100-3D 是用于微机电传感器和致动器 (MEMS) 以及其他微结构的振动测量的理想设备。通过软件移动样品，MSA-100-3D 完成样品整个表面的振动分析，然后以图形方式显示振型。
技术优势：
·实时振动测量，高达 25 MHz 的大带宽
·用于面外和面内振动测量，振幅分辨率达亚皮米级
·单点式和全场扫描式振动测量
·激光光斑小于 4光斑，横向分辨率极高
·测试距离大，可达38 mm
·可与普通 MEMS 探针测试台兼容
应用方向：
主要应用于生物学和医学、微纳米技术，可以非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。
