MSA-600 显微式激光测振仪

产品概要：

表面形貌、动态特性分析及可视化是显微结构（如MEMS器件）测试和开发的关键。这对于验证有限元算法、确定串扰影响和测量表面形变等都至关重要。

MSA-600-M/V型的测量带宽高达25MHz，适用于MEMS、MEMS麦克风和其它微系统的振动测试。全新研发的MSA-600-X/U型的测量带宽更是高达2.5GHz，尤其适用于高频MEMS谐振器、微声器件如SAW、BAW等振动测试。MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。

基本信息：

基于MEMS系统的一体化光学测量解决方案

基于MEMS系统的MSA-600显微式激光测振仪，集多种测量功能于一体，其不仅能测量面内振动和面外振动，还能测量表面形貌。系统具有极高的灵活性和精度，以满足显微结构未来的发展需要。显微式激光测振仪可提供精确的三维动态和静态响应数据，在降低开发和制造成本的同时提高产品性能，从而缩短设计周期，简化故障处理，提高产品产量。

高性能激光多普勒测振仪能快速进行实时测量，位移分辨率达亚pm级。白光干涉仪可以在几秒钟内提供数以百万计的三维表面形貌数据。MSA-600的用户界面直观，操作简便，是一款用于研究、开发和质量控制的功能强大的光学测量系统。系统易于集成至常见的商用探针台上，从MEMS原型设计到测试和故障排除，其能在各个开发阶段给您提供帮助，从而降低生产成本并缩短产品上市时间。

专门针对MEMS的6 GHz测试解决方案

MSA-600-S可用于结构振动测试和表面形貌测试，最高频率高达6 GHz!是用于研发GHz设备质量控制过程中的参数评估、以及测试器件性能和可靠性的不二之选。MSA-600-S可测试高频设备，如FBAR(薄膜体声谐振器)，以及其它GHz谐振器和设备。

 

技术优势：

应用方向：

主要应用于生物学和医学、微纳米技术，可以非接触式测量生物医学样品、电子元件和微结构如MEMS等精密结构的振动、声学和动力学特性。

MSA-600 显微式激光测振仪

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