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英铂科学携手MPI助武汉理工搭建多功能高低温电学测试系统返回列表

MPI TS200-SE

产品介绍:

MPI TS200-SE适用于多种晶圆量测应用,如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆级可靠性 (WLR) 、失效分析 (FA)和1/f低噪声测试。

产品优势:

1.MPI ShielDEnvironmentTM屏蔽环境

  • 专为EMI/RFI/Light-Tight屏蔽所设计的精密量测环境

  • 支援飞安级低漏电量量测

  • 温度量测范围-60℃至300℃

2.具备气浮式样品台,可快速移动样品到待测位置

  • 快速移动样品台的行程为:225*260mm(8.9*10.2in)

  • 精调全部用的日本Mitutuyo三丰的千分尺,更稳定更耐用,范围为:25×25mm

  • 样品台具备一键气浮快速升降,行程为:20mm,搭配日本三丰精调千分尺,精调行程为:5mm

3.针座具备快速升降功能,可快速更换待测点

  • 三档式快速抬杆,3mm(架针)、300um(分离)0um (接触)

  • 搭配前级微小抬杆(150um、100um、50um高度可选)缩短抬升范围

  • 测试效率提升20倍

  • 最大MicroPositioner承裁数量:8DCor4DC+2RFor2DC+4RF

  • 在这种操作下,连续测试10个器件,S21参数重复误差低于-60dB

  • 具备抬升安全锁

4.有着独特的样品台设计

  • 样品台具备更多的真空吸附口,样品固定更稳定,并且可以支持碎片/单颗器件/封装器件等

  • MPI TS200-SE具备模块化升级RF、高功率等测试

5.MPI的针座以及线缆固定设计专门为高精度测试设计

  • MPI所有针座采用昂贵的碳钢材料,所以重量是FF的针座的2-3倍。磁吸附后更稳定,更不容易因为震动而位移或者因为温差而变形。测试重复性提高95%

  • TS200-SE所有测试探针、线缆、样品等全部密封在屏蔽室内,提高测试精度

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