-
采用工业通用的 PXI 模块化硬件结构,配合自主开发的测试软件 LabExpress,FS-Pro 在半导体工业产线测试与科研应用方面都具有优秀的性能表现,可广泛应用于各种半导体器件、 LED 材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试等。LabExpress 为用户提供了丰富的测试预设和强大的测试功能,可实现非常友好的用户即插即用体验。 该系统还可支持多通道并行测试,进一步提升测试效率。
应用范围
被半导体工业界和众多知名大学及科研机构采用作为标准测试仪器
集成功能
· 同时具备高速高精度直流测试和脉冲测试能力
· 量程范围宽、测试速度快
· 支持小于1us采样时间的高速时域信号采集
· 高达10万点的数据量可以精细描绘信号随时间变化特性
· 低频噪声(1/f noise,flicker noise)测试能力特别是RTN(随机电报噪声)测试能力与对准9812
使用方式
简单灵活,无需编程即可实现自由的波形发生或电压同步与跟随
系统架构
PXI标准机箱,可扩展架构,支持通过多机箱扩展SMU卡数量
支持并行测试
内置功能强大的测试软件和算法,支持多通道并行测试成倍提升测试效率
-
硬件规格
宽量程
200V 电压,1A 直流电流
内置脉冲测试
200V 电压,3A 脉冲电流,最小 50us 脉宽
高速时域信号采集
最小采样时间小于 1us,高达 10 万点数据
高精度
30fA 精度,0.1fA 灵敏度
噪声测试速度
<10s/bias(大于 0.5Hz 频率分辨率)
噪声测试分辨能力
最低 2e-28A2 /Hz
噪声测试带宽
高速高精度模式下最高 100kHz,超低频模式下最高 40Hz
噪声测试频率分辨率
高速高精度模式下最低 0.1Hz,超低频模式下最低 0.001Hz
噪声测试最小阻抗
500Ω
内置 CV测试
200V/10kHz,最低可测至 100fF
外置 CV 测试模块
40V/2MHz(高精度型)或 40V/5MHz(高带宽型)
-
软件功能
FS-Pro 系列内置 LabExpress 测量软件具有强大的测试和分析功能,该软件提供友好的图形化用户使用界面和灵活的设定,具有下列主要功能 :
· 完整支持直流,脉冲,瞬态,电容和噪声测试功能
· 内置的常见器件测试预设可大大提高测试设置效率,帮助新手操作者快速完成测试
· 强大的自定义设定功能可以灵活编辑电信号
· 内置强大数据处理能力可测试后直接展开器件特性分析
· 多种数据保存方式,导出数据可供用户后续分析研究也可直接导入建模软件 BSIMProPlus 和 MeQLab 进行模型提取和特性分析
· LabExpress 专业版支持对主流半自动探针台和矩阵开关设备的控制,支持晶圆映射、并行测试实现自动测试功能,进一步提升测试效率

-
IV电流电压测试


-
CV电容电压测试


-
1/f噪声测试

-
IVT测试
