
霍尔效应测试系统ezHEMS
•电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
•迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
•载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
•电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
全球首个155mm高频专用探针台,专为高达1.5THz或更高的mmW和THz晶圆上测量而设计;
无缝集成任何高达1.5THz的带 差分或宽带扩频器;最大的机械稳定性和可重复性,结合方便和安全的操作;
•电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
•迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
•载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
•电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
•电阻率测量范围:10-4-109Ω·cm(取决于样本)
•迁移率:1-107cm2/V·S(取决于样本)
•载流子浓度: 107 -1021 per cm3 (取决于样本)
•电流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance
•最小测试霍尔电压:0.1µV
•支持霍尔巴和范德堡样品测试
•磁场大小:0.6Tor1T永磁铁
•温度
HT head (300-800K)
RT head (300K)
LT head ( 80-500K)
•样本量
LT and HT heads; 5x5mm -15x15mm
RT head; 10x10mm
Thickness ≤2 mm for 1T magnetic field
Thickness ≤5 mm for 0.6T magneic field
•通过软件控制电磁铁运动
上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层
上海市高新技术企业,上海市“专精特新”企业
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