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Keithely 4200A-SCS

4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的半导体参数分析仪,可以同步查看电流电压 (I-V)、电容电压 (C-V) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能最高的参数分析仪,4200A-SCS加快了半导体、材料和工艺开发速度。

特点与优势

  • 主要性能指标

    I-V 源测量单元 (SMU)

    ● ± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块

    ● 100 fA 测量分辨率

    ● 选配前端放大器提供了 0.1 fA 测量分辨率

    ● 10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量

    ● 四象限操作

    ● 2 线或 4 线连接

    C-V 多频率电容单元 (CVU)

    ● AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)

    ● 1 kHz - 10 MHz 频率范围

    ● ± 30 V (60V差分)内置 DC 偏置源,可以扩展到 ± 210 V(420 V 差分 )

    ● 选配 CVIV 多功能开关,在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换

    脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)

    ● 两个独立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道

    ● 200 MSa/s,5 ns 采样率

    ● ±40 V (80 V p-p),±800 mA

    ● 瞬态波形捕获模式

    ● 任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率

    高压脉冲发生器单元 (PGU)

    ● 两个高速脉冲电压源通道

    ● ±40 V (80 V p-p),± 800 mA

    ● 任意波形发生器Segment ARB®模式,支持多电平脉冲波形,10ns可编程分辨率

    I-V/C-V 多开关模块 (CVIV)

    ● 在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换,无需重新布线或 抬起探针

    ● 把 C-V 测量移动到任意端子,无需重新布线或抬起探针

    远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)

    ● 在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动 切换

    ● 把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安

    ● 降低电缆电容效应

  • 为材料、半导体器件和工艺开发提供最优秀的参数分析仪

     

     

    使用强大的 Clarius 软件,可以更加快速的完成 I-V, C-V 和脉冲 I-V 测试,结果清晰明了

     

     

     

  • 4200A-SCS 仪器和模块

     

  • 提取或测量参数列表实例

     

     

  • Clarius Software

     

    实时结果和参数

    自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所 需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。全新Clarius Software用户界面,您可以把对科研的理解提升到全新水平。4200A-SCS包括 Clarius+软件包,可以执行几乎任何类型的 I-V、C-V 和脉冲式 I-V特性分析测试。Clarius Software用户界面提供了触滑或点击控制功能,为现无需示波器检验脉冲测量代半导体、材料和工艺特性分析提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。

     

    主要特点

    ● 随时可以投入使用、可以修改的应用测试、项目和器件,缩短测试开发时间

    ● 业内第一台内置测量视频的仪器,测试视频由全球应用工程师提供,分为4种语言,缩短学习周期

    ● pin to pad接触检查,确保测量可靠

    ● 多种测量功能

    ● 数据显示、分析和代数运算功能

     

    专家视频,降低特性分析复杂度

    观看吉时利全球应用工程师制作的内置视频,迅速掌握应用,缩短学习周期。数小时的专家测量专业帮助,在发生意想不到的结果或对怎样设置测试存在疑问时,将为您提供指引。Clarius Software短专家视频支持四种语言(英语、中文、日语和韩语),可以迅速让你洞察先机。

     

    大量随时可以使用的应用测试可供选择

    通过Clarius库中装备的450多项应用测试,您可以选择或修改预先定义的应用测试,加快特性分析速度,或从一开始简便地创建自定义测试。只需三步,Clarius Software就可以引导新用户像专家一样完成参数分析。

     

    实时结果和参数

    自动数据显示、算法分析和实时参数提取功能,加快获得所需信息的速度。您不必担心数据丢失,因为所有历史数据都会保存下来。

     

    无需示波器检验脉冲测量

    脉冲定时预览模式可以简便地查看脉冲定时参数,确认脉冲式I-V测试按希望的方式执行。使用瞬态I-V或波形捕获模式,进行基于时间的电流或电压测量,而无需使用外部示波器。

  • 典型应用

     

     

    MOSFET, BJT 晶体管

    材料特性分析

    非易失性存储设备

    电阻率系数和霍尔效应测量

    NBTI/PBTI

    III-V 族器件

    失效分析

    纳米器件

    二极管和 pn 联结

    太阳能电池

    传感器

    MEMS器件

    电化学

    LED和OLED

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