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Chuck System

对于不同的要求,MPI提供了多种:
· 同轴
· 三轴
· 射频
· 毫米波
· 大功率夹头
· 从环境温度到-60°C至300°C
可用选项的示例包括带有真空孔的专用顶表面,镀金或纯绝缘材料制成的表面。创新的思维和技术专长使MPI设计与众不同,并且基于特定应用程序的实际需求。

特点与优势

  • ERS集成技术(IT)

    在不同温度下进行晶圆探测仍然是一个重大挑战。MPI与ERS一起在所有MPI Engineering Probe System中提供热卡盘的统一软件和硬件集成。新的集成技术(IT)负责:

    ·   测量结果

    ·   减少维护

    ·   同类最佳的热特性

    ·   最快的过渡时间

    ·   更好的系统平坦度

    ·   在整个温度范围内具有出色的热分布

     

     

  • MPI和ERS AirCool®PRIME技术

    MPI公司和ERS电子有限公司共同设计了新型300mm热卡盘AirCool®PRIME技术系列,可将浸泡时间减少60%,并且是市场上种类最多的热学产品。

    这些系统可以配置为具有-60°C,-40°C,-10°C,20°C或30°C的较低温度起点,并具有200°C或300°C的较高终点,所有这些都是为了适应不同的需求和预算。AirCool®PRIME 技术可以在没有冷却器的情况下在-10°C下进行测试,或者使用非常小的冷却器在-40°C下进行测试,从而使系统极具成本效益,降低了总体测试成本。

    减少转换时间,改善电气性能,在惰性气体气氛下进行更轻松的测试以及现场可升级性是AirCool®PRIME 热卡盘系统的附加价值。

     

     

  • 热控制器

    热控制器触摸屏面板无缝集成到所有MPI的探针系统中,提供了极为方便的操作,并最大程度地减少了测试单元的占地面积。

     

     

     

     

     

  • ERS专利AC3冷却技术公司

    这些卡盘结合了获得专利的AC3冷却技术和自我管理系统,可使用回收的冷却空气吹扫MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可大幅减少30%至50%的空气消耗。

     

     

     

     

     

  • 高热稳定性探针台板

    所有MPI 300°C系统都包括专用的高热稳定性探针压板,无论温度范围如何,都能实现最佳的接触质量。

     

     

    辅助夹头

    所有MPI RF卡盘都包括两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的RF校准。